当真空镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象，然后要亲自开机观察故障，这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。

　　首先排除故障应先检测低真空是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室)，低真空正常后再开主泵，主泵工作正常后检测下室真空中是否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至达到工作真空，极限真空、保真空、恢复真空，如极限真空和保真空正常，而恢复真空和工作真空不正常则可能主泵有问题。

　　以下列举常见故障及维修方法：

　　一、当正在镀膜时真空度突然下降

　　1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈)

　　2、坩埚被打穿(更换坩埚)

　　3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)

　　4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

　　5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

　　6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

　　7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)

　　8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)

　　9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

　　10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)

　　二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：

　　1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)

　　2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)

　　3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)

　　4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈)

　　5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)

　　6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)

　　7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧)

　　8、高低预阀是否密封可靠(注油)

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