电阻真空计(又叫皮喇尼真空计)：

　　它主要由电热丝、外壳和支架构成，主要是根据在低压下，气体的热传导系数与压强成正比的方式工作的。上面开口处与被测真空系统相连接，热丝采用电阻温度系数大的金属丝做成，两支支架引线与测量线路连接。当压强降低的时候，由于气体热传导散失的热量减小，因此当热丝加热电流稳定时候，则热丝温度就上升，热丝的电阻就增大，用测量热丝电阻值的大小来间接测量压强。

　　磁控放电真空计：

　　工作原理：在放电开始时，由于空间游离电子向阳极运动时，在正交电磁场作用下，电子的轨迹不是直线而是螺旋线前进，又因为阳极是框形，故电子不一定第一次就碰上阳极，而是穿过阳极，然后受到对面阴极的拒斥，又复返回。这样反复多次才可能打上阳极。由于电子路程大大加长，故碰撞及电离的分子数增加，使得在较低压强(10-4帕以下)仍维持放电(也称潘宁放电)。

　　目前比较多的型号有PKR251、GI-PARY

　　放电管真空计：

　　在玻璃管中封入两个金属电极，在其上加上数千伏的直流高电压，在一定的压强范围内(1*10-3～2*10托)内就能引起自持放电，通过放电颜色来判定其真空度 。 目前为止此种真空计已经很少使用，因为其误差大，容易损坏，而且寿命不长。